プラズマ励起化学蒸着およびプラズマ酸化による半導体不揮発性メモリ-の試作 (化学における活性化の新展開-1-レ-ザ-・プラズマ・超音波・磁場・電場などの利用<特集>)
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概要
日本化学会 | 論文
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- 反跳インプランテ-ションによるテクネチウムなどの新物質の合成とその生成機構 (化学における活性化の新展開-2-レ-ザ-・プラズマ・超音波・磁場・電場などの利用)
- 金-イオウ結合の利用:自己組織化単分子膜 (SAM)