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概要

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論文 | ランダム

• 表面波放電プラズマにおける電子密度の天板誘電率依存性
• 28p-E-1 高誘電率導入窓を用いたマイクロ波酸素プラズマのアッシング特性
• 28a-E-6 低誘電率(a-C:F)薄膜作製におけるECRプラズマ中のCFx(x=1〜3)ラジカルの挙動
• 30p-ZQ-12 HMDSOプラズマCVD膜の低誘電率化
• 30p-ZQ-11 プラズマCVDを用いた多孔質低誘電率膜形成の検討

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