反射光隙式非接触法による寸法の精密測定

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概要

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名古屋市工業研究所 | 論文

• FM半導体レ-ザ光のヘテロダイン検波による距離・形状計測
• 2光束レ-ザ干渉計による粒径計測--幾何光学的手法によるビジビリティ特性評価
• レ-ザ干渉計による粒径計測--バンドルファイバによる軸ずれ散乱光観測
• 産業計測における光ファイバの利用技術(昭和57年度・技術開発研究費補助事業)
• 光ファイバ屈折率計による流体観測

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