改良形プレ-ナマグネトロンスパッタ装置とそのAlN膜作製への応用

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概要

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• 電子通信学会の論文

電子通信学会 | 論文

• 高性能フレキシブル太陽光反射素子の開発
• 長寿命衛星用フレキシブル熱制御材 (衛星通信特集) -- (衛星用ハ-ドウェア)
• 相関を用いる変位測定法の誤差解析(技術談話室)
• 64/256QAMディジタルマイクロ波伝送方式(技術展望)
• 多種の劣化要因を持つQCPSK方式の誤り率特性

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