有機低誘電率膜を用いたCuデュアルダマシン配線の形成技術 (特集 新材料・新プロセスによる半導体薄膜形成技術--銅配線,Low-k,High-k,CMPの最新動向を探る)
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概要
工業調査会 | 論文
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- 鉄系高温超伝導物質の現状 (特集 先端電子材料の技術シーズと市場ニーズ)
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