ダイヤモンド切削による超微細加工--ポリゴンミラ-製作への適用 (超微細加工技術とエレクトロニクス--機能の高集積化・高性能化の事例と話題の技術<特集>) -- (話題の超微細加工技術と可能性)

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概要

日刊工業新聞社 | 論文

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