低周波50HzプスズマCVD法による非加熱基板上へのシリコン酸化膜生成 (プロセシングプラズマとその応用<特集>)

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概要

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電気学会 | 論文

• ワークフローシステム導入事例に基づく導入効果の定量的評価
• 車車間通信による安全運転支援システムの性能評価
• Pb_Sn_xTe固溶体の熱電特性とFGM化の検討
• 干渉計による正極性落雷の三次元観測
• 雷放電路三次元可視化とリーダ進展速度

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