オプトエレクトロニクスを契機にして酸化物単結晶はバルクから薄膜の時代へ--第1期の宝石時代を経ていまや第3期に (単結晶の世界--その使われ方とつくり方<特集>)
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概要
アルム出版社 | 論文
- ULSI(超々高集積回路)に使われる電極材料の条件と純度の問題--高集積化されるほど不純物濃度の低減が要求される (Annual Review ′88--新市場編) -- (レアメタルの高純度化と新機能の創製)
- VLSIの電極・配線に使われる材料--シリサイドからタングステン,モリブデン,金属ガスへ (メガビット時代と電子材料)
- エンジニアリング・セラミックスの現状と課題--Si3N4,SiCの利用から検査まで (窒化けい素・炭化けい素のすべて)
- 自動車,OA機器などの構造材に脚光--マグネ合金の特性,用途分野と世界の供給体制 (マグネシウム市場の新展開)
- 化学プラント/建築/原子力でのチタンとステンレスの使われ方と開発の課題 (チタンとステンレスの競合と住み分け)