全体計画要旨 (大学キャンパス<特集>) -- (東京工業大学長津田キャンパス〔設計・東京工業大学長津田計画室〕)

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概要

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論文 | ランダム

• MOCVD法によるGaAsオフ基板上へのInGaAs成長
• Al層を挿入したサファイア基板上GaN成長
• LSAT基板上GaN薄膜のエピタキシャル成長
• Al層を挿入したサファイア基板上GaN成長
• LSAT基板上GaN薄膜のエピタキシャル成長

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