Evaluation method for frequency characteristics of linear actuators in the sub-μm stroke range using a modified Michelson-type interferometer
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概要
工業技術院計量研究所 | 論文
- 回転バルブ型変動圧力発生装置の開発
- 変動圧力の計測技術と標準に関する調査研究
- レ-ザ干渉式油マノメ-タによるゲ-ジ圧力測定
- 技術資料 干渉測長における光波面と位相測定技術に関する調査研究
- 微小板状分銅の安定性に及ぼす保管条件の影響