High-accuracy ultrastable moving stage using a novel self-zooming optical scale

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概要

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• 工業技術院計量研究所の論文

工業技術院計量研究所 | 論文

• 回転バルブ型変動圧力発生装置の開発
• 変動圧力の計測技術と標準に関する調査研究
• レ-ザ干渉式油マノメ-タによるゲ-ジ圧力測定
• 技術資料 干渉測長における光波面と位相測定技術に関する調査研究
• 微小板状分銅の安定性に及ぼす保管条件の影響

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