研究開発用イオンミキシング装置の開発とそれを用いた窒素ガス支援イオンビ-ムミキシング法によるTiN膜の作成 (イオン注入技術による表面改質<特集>)

スポンサーリンク

概要

論文 | ランダム

もっと見る

スポンサーリンク