半導体用薄膜技術--高融点金属シリサイドの酸化を中心に (先端技術における表面処理)

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概要

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金属表面技術協会 | 論文

• 形状記憶合金とその医学への応用
• CVD法による各種金属上へのモリブデンコ-ディング--ニッケル,軟鉄,銅,SUSへのコ-ティング
• CVD法による軟鉄上へのタングステンおよびタングステン-SiCコ-ティング
• グロ-放電を併用したCVD法による黒鉛のSiCコ-ティング
• 鉄鋼上へのTiCコ-ティング--無電解溶融塩法

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