半導体分野における表面分析の応用事例 (表面分析--表面分析から何がわかるか(特集号))

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概要

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• 金属表面技術協会の論文

金属表面技術協会 | 論文

• 形状記憶合金とその医学への応用
• CVD法による各種金属上へのモリブデンコ-ディング--ニッケル,軟鉄,銅,SUSへのコ-ティング
• CVD法による軟鉄上へのタングステンおよびタングステン-SiCコ-ティング
• グロ-放電を併用したCVD法による黒鉛のSiCコ-ティング
• 鉄鋼上へのTiCコ-ティング--無電解溶融塩法

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