インタビュ- 小円運動機構を採用したシリコンウエハ-用小形両面研磨機を開発

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概要

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日刊工業新聞社 | 論文

• 適材適所の複合材料活用法--強化材の形態,特性をよく知っておく (複合材料活用事例集--適材適所に使うコツ)
• 傾斜機能材料の気相合成法 (傾斜機能材料--創製のいま)
• 金属系材料開発の動向と展望 (極限環境に挑む航空宇宙材料)
• FRMにおける界面の問題 (FRMの最近の進歩)
• 炭素繊維強化ニッケル基複合材料の特性

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