高圧アニール装置(HPA) (液晶製造装置・検査装置小特集)

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概要

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• 石川島播磨重工業技術本部管理部の論文

石川島播磨重工業技術本部管理部 | 論文

• 航空エンジン用圧縮機の研究開発 (ジェットエンジン・ガスタ-ビン)
• 柔軟マニピュレ-タの振動抑制制御
• しみ出し冷却を用いた耐熱システムの開発 (熱技術小特集)
• 0.3MWtナトリウム加熱蒸気発生器における不安定流動試験
• クリ-ンエネルギ-・水素の利用を目指して--水素タ-ビン燃焼器の開発 (新エネルギ-・省エネルギ-小特集号)

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