音響化学作用を応用した研磨用ダイヤモンド粒子の表面改質
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概要
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巨視的には常温・常圧であるにもかかわらず、微視的には極限環境を特殊な装置を用いることなく容易に実現できるソノケミストリーは多くの可能性を秘めた新しいプロセスとして注目されている。一方、コンピュータシステムの外部記憶装置に使用されている磁気ディスク装置のハードディスクは、大容量化と高密度化が進み、従来以上に微小な突起が少ない高品質な研磨面に対する要求が強くなってきている。本稿では、ソノケミストリーの新しい産業分野への応用例の一つとして、水溶液への超音波照射によって生成されるOH・を使って、ハードディスクの研磨に用いる研磨材の新しい表面改質方法について検討した。
- 2002-02-19