4-2E20 スパッタ法によるリチウムイオン伝導性硫化物ガラスの作製
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概要
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The thin films of Li_2S-GeS_2-Ga_2S_3 glasses were prepared by sputtering. Since these sulfides are very hygroscopic, it was avoided to contact the law materials, target and thin films to the air. A thin film containing much Li showed high conductivity of (10)^<-4.0>(Scm)^<-1> at room temperature.
- 1992-10-14
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