2D05 ビスマス系層状ペロブスカイト強誘電体薄膜の合成と評価
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概要
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Gel films which were deposited by using Sr-Bi-Ta complex alkoxide precursor solutions with partial hydrolysis crystallized to perovskite SrBi_2Ta_2O_9 single phase by rapid thermal annealing below 550℃. The films exihibited improved ferroelectric properties.
- 1997-10-02
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