Li_2B_4O_7基板のNSPUDTカット

概要

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基板の異方性と電極の反射を積極的に利用すると、通常の対称電極構造のすだれ状電極変換器(IDT)で一方向性変換特性が得られる。このような一方向性変換器はNSPUDT(Natural Single-Phase Unidirectional Transducer)と呼ばれ、SAWデバイスの高周波化・低損失化・高性能化への要請が益々高まっている状況下で関心を集めている。NSPUDT動作の得られる基板カットは、これまで水晶基板、LiNbO_3基板、LiTaO_3基板について報告されている。これに対し我々は、Li_2B_4O_7基板のNSPUDTカットを理論的に探索した結果、オイラー角表示で(0゜,μ,90゜)基板の比較的広い範囲にわたってNSPUDT動作が得られること、これらの範囲では水晶やLiTaO_3基板のNSPUDTカットに比べて大きな電気機械結合係数K^2が得られること、零温度係数が存在すること、パワーフロー角が零であること、など優れた特性を有するNSPUDTカットを見い出した。また、一部実験を行って理論的予測と良く一致する結果を得たので報告する。
1994-09-26