Ion-assisted oxidationによる極薄FeCo系酸化物を有するスペキュラースピンバルブ膜の高性能化
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概要
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Fe_50Co_50 nano-oxide layer(NOL)およびCo_90Fe_10 NOLの二つの異なる材料をスペキュラー反射層としてピン層中に挿入したスピンバルブ膜を、自然酸化法と、Ion-assisted oxidation(IAO)法の二つの異なる手法でNOLを形成し、比較を行った。低酸素暴露領域でのIAOで酸化したFe_50Co_50 NOLの場合に、良好なスペキュラリティーと、NOLを介した磁気結合の強い状態を同時に成立することに成功した。一方、自然酸化の場合には、Fe_50Co_50、Co_90Fe_10のどちらの材料とも、大きなスペキュラー反射効果が得られず、NOLを介した磁気結合も弱かった。Fe_50Co_50 NOLを低酸素暴露量でIAO形成したスペキュラースピンバルブ膜が100G bit/inch^2以上の高記録密度での有力な候補である。
- 2002-09-26
論文 | ランダム
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