30a-B-12 光導波路を用いた光記録用マルチビーム光源の検討(II)

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概要

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• 1999-03-28

論文 | ランダム

• 電気化学STMを用いたGaAs表面観察と局所加工
• 光陽極エッチング・めっき連続プロセスによるGaAsショットキー接触の形成
• 有機物のイオン照射改質によるマイクロコールドエミッタ材料の創製
• (3) 学部教育での集積回路チップ設計製作実習(第1セッション 教育システム(1))
• イオンビーム改質したフォトレジストからの電子放出

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