29a-ZF-10 SiO_2/Si界面偏折P及びAsの化学状態の解明

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概要

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• 1999-03-28

論文 | ランダム

• プラズマイオン注入法の計算機シミュレーション
• PBII法により作製したDLC膜の摩擦・摩耗特性
• Subplantationモデルに基づいたa-C:H膜形成の動的モンテカルロ・シミュレーション
• イオン注入による固体中微粒子の生成 (新材料技術研究等終了報告)
• イオン注入法を用いたガラス中への酸化銅ナノ粒子の形成

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