30p-ZN-5 C_2H_6/H_2/O_2混合ガスを用いたInPのドライエッチング面の評価

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概要

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• 1995-03-28

論文 | ランダム

• コヒーレント科学
• レーザー溶融法によるナノ微結晶Si薄膜の作製
• レーザーアブレーションによる高温超伝導薄膜の配向制御
• レーザーアプレーションによる酸化物薄膜の作成
• X線レ-ザ-への期待

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