29p-L-14 ハイブリッドプラズマCVD法により堆積したa-SiC:Hの結合様式
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概要
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- 1995-03-28
論文 | ランダム
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- 産業技術総合研究所・ティッシュエンジニアリング研究センター,メディカルデバイスチーム
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