29p-B-8 低圧ロングスロースパッタ成膜のボトムカバレージにおける反跳アルゴン原子の影響

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概要

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• 1997-03-28

論文 | ランダム

• Fe基合金/酸化物ナノコンポジット軟磁性焼結体の合成
• 超微粒子ビームによる酸化チタン皮膜形成
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• ミリ波加熱法の特徴とセラミックス部材の高品質化
• 交換方式-6完-交換方式の現状と将来(講座)

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