31p-ZM-7 スリットを通してスパッタにより成膜したa-Si:H薄膜の膜厚の解析

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概要

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• 1997-03-28

論文 | ランダム

• 真空紫外光による有機合成・有機材料プロセッシング (真空紫外光の発生と利用技術)
• エキシマレ-ザ-による化学プロセス
• レ-ザ化学合成--エキシマレ-ザによる展開
• エキシマ-レ-ザ-の画像技術への応用
• 低温マトリックス法の有機化学への応用 : 不安定化学種の捕捉から低温光化学反応へ

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