多層半導体薄膜によるNO_xセンサ
スポンサーリンク
概要
- 論文の詳細を見る
第一層目の電気伝導層としてFe_2O_3+TiO_2(5mol%)+MgO(4mol%)を、第二層目のガス検出層としてSnO_2+Pd(4mol%)を用いて作成した多層薄膜ガスセンサのNO_xに対するガス感度および諸特性の検討を行った。第二層目のSnO_2に添加物として用いたPdは、NO_xに対するガス感度を向上させることが確認された。このセンサはNOとNO_2の両者に感度を示し、最低検出濃度は250℃でNOとNO_2に対して数ppmであった。寿命試験の結果、NOに対するガス感度の若干の経時的な変化が確認された。しかしながら、3ヶ月程度まではヒートクリーニングによって良好な感度を得られることがわかった。
- 1997-06-27
論文 | ランダム
- 5365 古墳時代構法の研究 : その8 関東地方における堀立柱建物の平面形
- プラズマCVD法による硬質皮膜作製と金型への応用
- (1)浸炭処理 (特集 高品質・低コスト設計を実現する金属材料の表面処理技術を学ぼう) -- (解説 第1部 熱による表面処理)
- 雰囲気制御システムを搭載した真空浸炭炉 (浸炭特集)
- プラズマCVD法による高機能性コーティング (特集 情報機器と電気加熱)