Kinetic Monte Carlo simulations of boron activation in implanted Si under laser thermal annealing

スポンサーリンク

概要

• 論文の詳細を見る
• Institute of Physicsの論文
• 2014-01-09

著者

• Fisicaro Giuseppe

  CNR IMM, Z.I. VIII Strada 5, I-95121 Catania, Italy.

関連論文

• Kinetic Monte Carlo simulations of boron activation in implanted Si under laser thermal annealing

スポンサーリンク