Resist Coating on Vertical Side Faces Using Conventional Spin Coating for Creating Three-Dimensional Nanostructures in Semiconductors
スポンサーリンク
概要
- 論文の詳細を見る
We have devised a new resist-coating method using spin coating for creating three-dimensional (3D) nanostructures in semiconductors. Using this method, we were able to successfully coat poly(methyl methacrylate) (PMMA) films on the vertical side faces of micrometer-order Si blocks. The use of a solvent with low viscosity was found to be effective for obtaining good uniformity in resist thickness. Moreover, Monte Carlo simulations of electron scattering revealed that fine patterning on both the opposite side faces of a Si block should be possible by simultaneous development followed by electron beam (EB) writing from opposite directions, despite electron scattering.
- 2010-10-25
論文 | ランダム
- 霞が関ズームアップ 厚生労働省の指導・監査に協力する顧問医師団 医師と歯科医師、薬剤師が指南役に
- 地方の「医師不足」が直面する危機を知れ--産婦人科と小児科医が足りない
- 農業段階でのHACCP導入における臨床獣医師の役割とは (特集 バイオセキュリティの確立と豚肉の安全性確保)
- 医師として その足跡と不変の理念(第3回)閉鎖的な壁に苛まれながらの規模拡大、そして巻き込まれた事件
- 最新判例批評(78)1.医師法21条にいう死体の「検案」の意義 2.死体を検案して異状を認めた医師がその死因等につき診療行為における業務上過失致死等の罪責を問われる虞がある場合の医師法21条の届出義務と憲法38条1項(最三判平成16.4.13) (判例評論(572))