製造インフラ TSMCがMEMSファウンドリを事業化,設計・製造の標準化が加速 (MEMSイノベーション--半導体の新領域を開拓)
スポンサーリンク
概要
- 論文の詳細を見る
MEMS業界に巨大な製造インフラが登場した。台湾Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd.（TSMC）によるMEMSファウンドリである。同社は，CMOS LSI向け製造インフラにMEMS固有の製造設備を追加している。既に台湾・新竹にある二つの工場において数十万ウエーハ／月の規模で量産中であり，需要次第ではさらに1工場をMEMS向けに割り当てる。
論文 | ランダム
- 診断に苦慮したLeber遺伝性視神経症の1例
- Cre/loxPシステムを利用したアデノウィルス二重感染法による自殺遺伝子誘導
- 鶏の遺伝子組換え技術のこれまでとこれから(5)遺伝子組換え鶏の作出方法(1)
- 現代医学の焦点(341)難聴の遺伝子診断
- 教育経営学研究動向レビュー 分権改革が学校経営に与えたインパクト