製造インフラ TSMCがMEMSファウンドリを事業化,設計・製造の標準化が加速 (MEMSイノベーション--半導体の新領域を開拓)
スポンサーリンク
概要
- 論文の詳細を見る
MEMS業界に巨大な製造インフラが登場した。台湾Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd.（TSMC）によるMEMSファウンドリである。同社は，CMOS LSI向け製造インフラにMEMS固有の製造設備を追加している。既に台湾・新竹にある二つの工場において数十万ウエーハ／月の規模で量産中であり，需要次第ではさらに1工場をMEMS向けに割り当てる。
論文 | ランダム
- AP-1-3 安全・快適な運転をサポートするITS無線通信システム(AP-1. 安全のためのITS技術の展開,パネルセッション,ソサイエティ企画)
- BK-3-4 OKIにおける研究開発の取組み(BK-3.最先端ICT企業エクゼクティブによるR&Dの今後の展望と課題,ソサイエティ特別企画,ソサイエティ企画)
- BK-3-4 OKIにおける研究開発の取り組み(BK-3.最先端ICT企業エクゼクティブによるR&Dの今後の展望と課題,ソサイエティ特別企画,ソサイエティ企画)
- BS-9-2 光ファイバセンシングの防災応用の実際(BS-9.減災・防災モニタリングのための光ファイバ応用技術の進展,シンポジウムセッション)
- B-20-3 センサネットワークにおけるネットワークコーディングに適した多対多経路構築法(B-20.ユビキタス・センサネットワーク,一般セッション)