市場動向 MEMSの製造・開発投資,欧米アジアが官民挙げて拡大 (Cover Story 異種デバイス融合時代 勝者の条件はMEMS)
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概要
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世界のMEMS製造・研究開発の競争条件が変わり始めている。製造においては，MEMSファウンドリ市場に，LSIのSiファウンドリが参戦する。Siファウンドリの巨人である台湾Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd.（TSMC）がMEMSファウンドリ事業に本格的に乗り出す可能性がある。
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