積層型圧電素子を用いたアクチュエータにおける位置決め精度による縦真直への影響
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概要
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積層型圧電素子は，高速な動作が可能で大きな推力を有することから，高速で高精度な位置決め動作に適した特性を有している．しかし，積層型圧電素子は，印加される電圧と変位の関係にはヒステリシスが存在し，測定試料の等速運動を前提とする傾斜補間を行う走査型プローブ顕微鏡では，擬似的な上下変動として影響し高精度な表面観察を妨げている．本研究では，走査型プローブ顕微鏡における縦真直を指標に走査動作の位置決め精度について検証し報告する．
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公益社団法人 精密工学会 | 論文
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