同心円回折格子を用いた軸受けのラジアル アキシャル アンギュラーモーションの一括測定:第4報 周波数変調によるリサージュダイアグラムの取得
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概要
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前報までの変位センサの構成はフォトダイオードを4個×3セット使用しアライメントが困難であった．また，得られるリサージュダイアグラムはスピンドルの回転に伴い中心，半径が変動した．本報では周波数可変レーザを用いた正弦波位相変調法を採用し，センサ1セットに対しフォトダイオードを2個とした．干渉縞信号を同期検波することで90°位相の異なる2つの正弦波を得た．さらに，リサージュダイアグラムを規格化した．
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公益社団法人 精密工学会 | 論文
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