高速２自由度レンズ駆動アクチュエータを用いたレーザ加工
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概要
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レーザ光軸とアシストガスノズルの相対位置を高速で調整し，レーザ加工の高速・高品質化を実現するための２自由度レンズ駆動アクチュエータを開発した．弾性ヒンジで案内されたレンズを，電磁吸引力を利用して，レンズの半径方向に２自由駆動する．１mmの位置決め範囲，150Hzのバンド幅を有する開発したアクチュエータを搭載したレーザ加工により，30%近くの加工速度向上，ドロスの少ない曲線加工に成功した．
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公益社団法人 精密工学会 | 論文
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