セグメント構造ダイヤモンド状炭素膜を摩擦駆動面に用いた弾性表面波リニアモータ:第7報 犠牲層を用いたS-DLC膜の生成方法
スポンサーリンク
概要
- 論文の詳細を見る
弾性表面波リニアモータは薄型・高出力などの特長を持った超音波モータである。摩擦駆動という原理の性質上、摩擦駆動面において摩耗が問題となる。これまでに摩耗の改善のために耐摩耗材料であるセグメント構造DLC膜が導入されてきた。しかし、DLC膜のセグメントの形状が問題となり、駆動特性が低下した。そこで、本報では駆動特性を向上させるために新たなセグメント構造DLC膜の成膜方法を提案した。
- 公益社団法人 精密工学会の論文
公益社団法人 精密工学会 | 論文
- 微細エンドミル加工における切削負荷計測手法の開発
- フェムト秒レーザによるレーザピーンフォーミング : −薄板曲げ加工での照射条件と予備曲げの影響−
- 粉末焼結積層造形による透明部品の作製 : −屈折率調整されたエポキシ樹脂の含浸によるプラスチック粉末焼結積層造形品の透明化−
- 放射光用X線光学素子の形状計測技術
- 白色光干渉顕微鏡による表面トポグラフィ測定