コンディショニングによるポリシングパッド表面の微小変形特性の定量評価に関する研究:パッド表面の微小変形特性と接触画像解析法による定量評価との相関関係
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概要
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本研究では各種パッドコンディショニング条件がポリシングパッド表面の微小変形特性に及ぼす影響を明らかにすることを目的に，デジタル画像相関法を用いた非接触計測・評価法を提案している．本報告では各種コンディショニング条件がパッド表面の微小変形特性に及ぼす影響を述べるとともに，著者らが提案する接触画像解析法による結果との相関関係について言及する．
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