ガラスインプリント用反射防止構造モールド(金型)の形状の最適化
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概要
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我々は、微細周期構造をガラス表面に形成するためのインプリント技術を検討している。今回、反射防止構造用SiCモールドの形状の最適化について検討した。SiC基板表面に電子線描画条件とドライエッチング条件を変えて周期300nmの2次元逆錐型を形成し、リン酸塩系ガラスへの転写性を検討した。反射率を測定した結果モールド形状の依存性があることが分かった。
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公益社団法人 精密工学会 | 論文
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