微小物体を対象とした非接触超音波支持機構の作用力特性
スポンサーリンク
概要
- 論文の詳細を見る
超音波振動子の振動面近傍で板状の物体が浮揚する近距離場音波浮揚現象において、鉛直下向きでも物体の非接触支持が可能であることが報告されている。本報では作用力とギャップの関係を観測した。対象物を取り付けたカンチレバー先端にコイルを設置し、VCMを構成した。PID制御下においてコイルに流れる定常電流から作用力を推定するサーボ型作用力測定機構を作製し、作用力特性を取得した。
- 公益社団法人 精密工学会の論文
公益社団法人 精密工学会 | 論文
- 微細エンドミル加工における切削負荷計測手法の開発
- フェムト秒レーザによるレーザピーンフォーミング : −薄板曲げ加工での照射条件と予備曲げの影響−
- 粉末焼結積層造形による透明部品の作製 : −屈折率調整されたエポキシ樹脂の含浸によるプラスチック粉末焼結積層造形品の透明化−
- 放射光用X線光学素子の形状計測技術
- 白色光干渉顕微鏡による表面トポグラフィ測定