レーザ表面処理による多孔質静圧空気軸受性能の調整
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概要
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多孔質金属焼結体を静圧空気軸受として使用する際は,軸受剛性を得るために多孔質体表面に目詰まり層を形成させ,絞り効果を付加させる必要がある．そこで本研究では,多孔質体表面にレーザを照射することで絞り効果を付加させる加工法を提案した．レーザの走査間隔を変更することで通気性の異なる絞りを有する軸受を作製し, 負荷容量と静剛性の測定による軸受性能の評価を行った．
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公益社団法人 精密工学会 | 論文
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