ガラス成形による反射防止構造レンズの作製
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概要
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ガラスモールド法により、表面に反射防止構造を形成したガラスレンズを作製した。レンズモールドには炭化ケイ素基板を用い、電子線リソグラフィもしくは二光束干渉露光法によりレジストパターンを形成した後、ドライエッチングによりレンズモールド表面に周期250～300nmの微細構造を形成した。同レンズモールドを用いてリン酸塩系ガラスを成形し、反射率0.2％のガラスレンズを得た。
- 公益社団法人 精密工学会の論文
公益社団法人 精密工学会 | 論文
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