Pt/C多層膜集光ミラーによる硬X線Sub-10nm集光
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概要
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我々はこれまで独自の楕円形状集光ミラーの表面加工・計測法の開発により、集光サイズ数十nmの硬X線ビーム形成に成功してきた。今回、グレーデッド多層膜形成装置の開発により、多層膜集光ミラーの作製が可能となった。これにより、大照射角・大NAのミラー設計が許容され、ナノ集光ミラーの作製が可能となった。SPring-8における作製したミラーの集光性能評価の結果、ピーク半値幅約8nmの1次元集光の達成が確認された。
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公益社団法人 精密工学会 | 論文
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