ナノモーションアクチュエータの高速高精度位置決めの検証
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概要
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ナノモーションアクチュエータは，2kHzを超えるゲイン交差周波数を実現し，磁気ディスクにおける高速高精度なトラックフォロイングに応用されている．しかし，目標値到達後の定常特性は，目標値が大きくなるに従って悪化する傾向があった．本報告では，位置決めの過渡特性の評価と，定常特性の標準偏差を評価に用いて，ナノモーションアクチュエータの位置決め性能を評価した．
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公益社団法人 精密工学会 | 論文
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