定在エバネッセント光を用いた超解像顕微法に関する研究(第5報):標準蛍光粒子を用いた提案解像原理の実験的検証
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概要
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半導体産業やバイオテクノロジー産業における計測対象の微細化に伴い,高解像力を有しかつアプリケーションに富んだ新しい光学計測手法の開発が求められている.我々は,定在エバネッセント光照明分布の動的制御,複数画像の逐次的再構成による超解像顕微法を提案した.本報では,定在エバネッセント光生成及び散乱光結像のための装置を開発し,標準蛍光粒子による離散的サンプルを用いて提案解像原理を実験的に検証した.
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