水平多関節型位置決めシステムの高精度関節駆動機構の構成
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概要
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現状の水平多関節型機構の多くは，減速前のモータ回転角度を検出して関節角度を半閉ループ系で制御する方式がほとんどであり，関節も過大なチルトモーメントが加わる構造のため位置決め精度を飛躍的に向上することは困難である．そこで，それらの問題点に対して根本的な対策を施した関節駆動機構を構成した．超高分解能のロータリエンコーダと空気静圧軸受を採用することにより，250 mmのリンク長先端で1 μmの位置決め精度を実現できた．
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公益社団法人 精密工学会 | 論文
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