X線望遠鏡用無電解ニッケル金型の超精密研磨法
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概要
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次世代？]線望遠鏡用非球面反射鏡に要求される精度は、形状誤差100nm P-V以下、表面粗さ0.3nm rms以下である。そのためレプリカ反射鏡製作に用いる無電解ニッケル非球面金型には高度な表面が必要になる。金型は超精密ダイヤモンド切削後、表面粗さを小さくするため、研磨工程が必須となる。そこで、予備実験として非球面の代りに平面と円筒面をクロス研磨した結果、それぞれ表面粗さ0.179nm rms、0.294nm rmsを得た。
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公益社団法人 精密工学会 | 論文
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