研削加工における表面粗さのインプロセス測定（第2報）―工作物表面温度変化を考慮したインプロセス測定の試み―
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概要
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本研究は，熱電対の原理を用いたインプロセス表面粗さ測定法の開発を目的としている．離間状態の熱電対を工作物表面で擦過させると，表面粗さに応じた起電力が出力されるが，実際の研削加工では工作物表面温度が変動するため，その影響が出力に重畳される．そこで，本報では研削中の工作物表面温度による出力成分のキャンセル手法を考案し，表面粗さのインプロセス測定法を提案する．さらに，その測定性能を実験的に検討する．
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