位相シフト干渉計による平面研削盤上での加工品形状の測定
スポンサーリンク
概要
- 論文の詳細を見る
位相をシフトさせた3枚の干渉縞を1/2000秒のシャッタで同時に撮像する位相シフト干渉計を用い、加工機上の振動環境下でナノメートルオーダの形状測定を実現した。 平面研削盤の走査機構を利用し、長さ1500mmのガラス基板の走査測定を行った。静電容量センサによる走査測定値と数百ナノメートルで一致する結果を得た。
- 公益社団法人 精密工学会の論文
公益社団法人 精密工学会 | 論文
- 微細エンドミル加工における切削負荷計測手法の開発
- フェムト秒レーザによるレーザピーンフォーミング : −薄板曲げ加工での照射条件と予備曲げの影響−
- 粉末焼結積層造形による透明部品の作製 : −屈折率調整されたエポキシ樹脂の含浸によるプラスチック粉末焼結積層造形品の透明化−
- 放射光用X線光学素子の形状計測技術
- 白色光干渉顕微鏡による表面トポグラフィ測定