高真空対応ガイド移動形エアスライド:差動排気シール部の最適化設計
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概要
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電子ビーム露光装置に代表される高真空環境での超精密位置決めのニーズに対して,我々は,高真空対応ガイド移動形のエアスライドを開発した.真空環境でエアスライドを使用するためには,排気回収部と真空環境をシールする非接触のシール要素が必要とされる.本報告では,開発したエアスライドに採用した差動排気シールの構造概念を提示すると共に,最適化設計を行った結果を報告する.
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公益社団法人 精密工学会 | 論文
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