大型焼結SiCミラーの超精密加工
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概要
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大型宇宙望遠鏡用主鏡の形状は,その軽量化のために裏面にリブ構造を有し,大型になるほど複雑形状となり,ミラー面·リブ部分ともに薄肉となる.それゆえに固有振動数が低下し,振動問題が大きな要因として,仕上げ面の表面粗さの精度の現象を招いている.そこで本研究では超精密加工機の砥石回転軸の方向と送り軸の方向を垂直にすることで,薄肉焼結SiCミラーのELID研削を行い,表面粗さの精度向上に努めた.
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公益社団法人 精密工学会 | 論文
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